● Number of WDS: 3ch
● Detectable element range: 5B to 92U
● SE image resolution: 3nm(at 30kV, 1x10-11A, WD=11mm) and 4nm(at 10Kv, 1x10-11A, WD=11mm)
● Max. Specimen size: 100mm x 100mm x 50mmH
뿌리장비 예약
장비 상세정보
| 장비사진 | 장비명 | 전계방출 전자탐침미량분석기(Field Emission Electron Probe Micro Analyzer) | ||
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제작사 | Jeol | 모델명 | JXA-8530F |
| NTIS | NFEC-2016-06-210169 | E-TUBE | 1605-A-0176 | |
| 장비분류 | 분석장비 | 기술분야 | 표면처리 | |
| 보유센터 | 고령뿌리기술지원센터 | 장비상태 | 정상 | |
| 구축일 | 2016-05-31 | 구축비용 | 652,437,956원 | |
| 수수료 | 일반 90,000원/시간; 미량(0.5%이하), 경량원소분석 100,000원/시간; 이온연마 30,000원/시간, 기본료 10,000원/시료 | 바우처 사용 | 사용가능 | |
| 담당자 | 김다혜 | 연락처 | ||
| 매뉴얼 |
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주요사항
원리 및 특징
● 시편전처리 장비인 Cross-section Polisher(CP) 부대장비 포함
사용예
● 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 조사하여, 시편에서 발생되는 여러 전자 정보 중 특성 X-선의 파장을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석을 할 수 있는 표면분석 장치
● 원소분석 이외에 이차전자 및 반사전자를 검출하여 Scanning영역에 대한 2차전자 이미지와 후방산란전자 이미지를 통한 관찰
● 원소분석 이외에 이차전자 및 반사전자를 검출하여 Scanning영역에 대한 2차전자 이미지와 후방산란전자 이미지를 통한 관찰
활용분야
● 표면 미세영역 원소분석