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뿌리장비 예약

장비 상세정보

전자분광 화학분석기 (ESCA) 업그레이드(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)

전자분광 화학분석기 (ESCA) 업그레이드(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) 상세 정보
장비사진	장비명	전자분광 화학분석기 (ESCA) 업그레이드(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)
	제작사	Thermo fisher scientific	모델명	ESCALAB 250Xi
	NTIS	NFEC-2014-12-194086	E-TUBE	1412-B-0170
	장비분류	분석장비	기술분야	표면처리
	보유센터	시흥뿌리기술지원센터	장비상태	정상
	구축일	2014-12-09	구축비용	806,387,202원
	수수료	100,000원/hr	바우처 사용	사용가능
	담당자	손양수	연락처
	매뉴얼	첨부파일 없음

주요사항

일정한 에너지를 가지는 X선(광자)을 시료에 쬐면 시료로부터 광전자(photoelectron)들이 방출되는데, 이 광전자들의 운동 에너지를 측정하면 광전자가 시료로부터 방출되기 위해 필요한 에너지인 binding energy를 알 수 있음
EDS나 EPMA로 측정 불가능한 시료 표면으로부터 100Å 이내 깊이에 관한 정보를 얻을 수 있는 표면 민감성 분석장비

원리 및 특징

원리: X선 광자의 여기에 의하여 시료로부터 방출되는 광전자의 에너지를 검출하여 표면 원소의 화학결합 상태를 분석함
특징: 고감도 고분해능, 정량이미지 모드, 고속 자동화 분석가능

사용예

일반적으로 정량화에 많이 사용되는 EDX 및 EPMA의 분석 깊이(약 3~10um)에 비하여 전자분광 화학분석기의 분석깊이는 10nm 이내로 극표면의 분석이 가능하며, 깊이 방향 분석도 가능함. 특히, 기타장비와는 달리 화학결합을 분석할 수 있음. 이 를 활용 뿌리기업의 표면불량원인 분석 및 선진사제품 reverse engineering 등이 가능함
반도체, 액정, PDP, OLED, 형광체, 광전자, 고분자, 화학, 재료등의 물질 개발 부 문과 분석화학 등의 다양한 분야에서 활용이 가능함

활용분야

• Electron analyser with Lens system - Ultimate energy resolution : <0.45eV - sensitivity : > 1,000,000 cps (@0.6eV)
• Monochromator X-ray source - Type : Micro-focused monochromator source - Analysis area < 20 ~ 900μm - Ultimate spatial resolution : <3μm
• UHV Analysis chamber - Material : 100% mu-metal chamber or equivalent - Ultimate vacuum : 5 x 10-10mbar or equivalent - Pump : Turbo molecular pump, Titanium sublimation pump
• Preparation chamber with Fast entry air lock - Complete with sample transfer mechanism and vacuum gauges - Ultimate vacuum : 5 x 10-8mbar or equivalent

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